גלאי דליפות הליום אוטומטי בקופסת ואקום עבור רכיבי מחליף חום מיקרו-תעלות עם ניקוי הליום אקטיבי ומעקב אחר ייצור
מכונה זו היא מכונה מיוחדת לגילוי דליפות הליום בספקטרום מסה של רכיבי מחליף חום מיקרו-ערוצי. מכונה זו מורכבת ממערכת פינוי, מערכת גילוי דליפות בקופסת ואקום, מערכת ניקוי הליום ומערכת בקרה אלקטרונית. למכונה פונקציית ניקוי הליום אקטיבית; למכונה יש את הפונקציה של רישום כמות ייצור המוצר, כמות מוצר תקין וכמות מוצר גז טבעי.
| תוצר העבודות שנבדקו | 4L |
| ממד חיצוני מקסימלי של חומר העבודה | 770 מ"מ * 498 * 35 מ"מ |
| גודל תא הוואקום | 1100 (אורך) 650 (עומק) 350 (גובה) |
| מוצר תוכן | 250 ליטר |
| מספר קופסאות ואקום | 1 |
| מספר חלקי עבודה בקופסה | 2 |
| מצב תיבת כניסה ויציאה של חומר עבודה | תיבת ואקום כניסה ויציאה ידנית |
| פתח וסגור את הדלת | סוג כיסוי נפתח |
| לחץ דליפה גדול | 4.2 מגה פסקל |
| לחץ מילוי הליום | ניתן לכוונן אוטומטית את 3MPa |
| דיוק גילוי הדליפות | 2 גרם/שנה (△P=1.5MPa, R22) |
| לחץ פינוי תיבת ואקום | 30 פ.ס. |
| קצב התאוששות גז הליום | 98% |
| תחנת בדיקה עם קופסת ואקום (קופסה כפולה) | 100 שניות / קופסה בודדת (לא כולל זמן טעינה ופריקה ידנית). עם 2 צינורות הפעלה משני צידי הקופסה, |
| הגדרת בקרת קצב דליפה (He) | משתמשים יכולים לבחור קבוצות פרמטרים או לשנות אותן על גבי מסך התצוגה בהתאם לדרישות התהליך שלהם. |
| אזור כיסוי | 3140 (אורך) × 2500 (רוחב) × 2100 (גובה) מ"מ |
| ספק כוח למכשיר | תלת פאזי AC 380V± 10% 50Hz |
| כוח ההתקנה | 20 קילוואט |
| לחץ אוויר דחוס | 0.5-0.6 מגה פסקל |
| נקודת טל | -10℃ |
| גז בלחץ | אוויר דחוס עם חנקן מעל טוהר של 99.8% או נקודת טל מתחת ל-40℃; |
| לחץ גז בלחץ | 5.5 מגה פסקל |